广东中科半导体微纳制造技术研究院（原中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院）

广东中科半导体微纳制造技术研究院（原中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院）（以下简称“广东研究院”）于2019年7月登记为广东省属科研事业单位。拟建设成为总投入12亿元以上，100亩科研及产业化用地的新型研发机构。广东研究院实行理事会领导下的院长负责制，下设综合办公室、育成中心、纳米加工平台、半导体光电子材料与器件研究部，并成立广东省中科育成科技发展有限公司（广东中科）。

广东研究院占地100亩，一期建筑面积约23000平方米，二期建筑面积约57000平方。为了实现机制体制创新和规范高效的管理，广东研究院建立了一套完善的规章制度，包括人事、财务、资产、科技及产业化管理文件，为广东研究院的可持续发展提供了依据和保障。

广东研究院以促进区域创新发展为基础、以专业特色学科为依托、以研发具有重要应用前景的产业技术为目标，建设集公共服务、创新研发和孵化育成为一体的新型研发机构，通过“纳米加工平台+研究中心+育成中心”的运营模式，探索融合发展的新型发展机制，建设成为辐射粤港澳大湾区的一流应用技术创新创业平台，提升粤港澳大湾区先进制造业和现代服务业的自主创新能力。