中科微纳院：让半导体项目“入驻即生产”

半导体被誉为“制造业的大脑”，其制造环节普遍存在门槛高、投入大、回报周期长等痛点。在南海狮山，上述难题正有望逐一破解。

在广东中科半导体微纳制造技术研究院（下称“中科微纳研究院”）内，除了能获得来自专家团队提供的研发技术支持外，还能通过公共服务平台，根据自身需求开展场地租赁、产线搭建、中试流片，真正实现“拎包入驻”，有效加快产业落地、集聚进程。

落地狮山近四年来，中科微纳研究院已完成一期科研及办公场地建设，并与近20家本地企业展开合作。研究院供图

落地南海狮山近四年来，中科微纳研究院已完成一期科研及办公场地建设，并与近20家本地企业展开合作。该研究院所提供的产业化载体与新合作模式，正为南海、佛山半导体产业的壮大集聚，打开了更多的新空间。

当前，南海区半导体及集成电路企业超40家，其中规模以上半导体及集成电路制造企业数量从2020年的16家增长至2023年上半年的32家，引进培育出广东希荻微电子股份有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司等一批半导体领域先进企业。依托中科微纳研究院等科研平台，南海大力优化产业发展环境，拥抱科技人才与优质项目，助力更多创新成果落地转化，为南海打造粤港澳大湾区半导体制造业重要基地和集聚区提供强大支撑。

中科微纳研究院的超净实验室内，工作人员来回走动，仔细查看设备显示屏上记录的生产数据；相距不远，刚进场不久的新项目正在加紧对现有场地进行布场、调试，计划在近期上线投用。

“这是我们研究院最大的特点之一，研究院不仅有为企业、项目研发提供技术支持、开展产学研合作等传统业务，更能提供产线搭建、厂房出租、中试生产等功能，让半导体产业项目实现‘入驻即生产’，在一定程度上破解该产业发展门槛高、投入大、回报周期长的痛点，缩短项目落地周期。”中科微纳研究院科技发展部李心舟说。

换言之，中科微纳研究院将超净实验室打造成真正服务于产业的公共服务平台，企业、项目可根据自身生产需求直接租赁超净场地，有效规避了半导体生产厂房筹建资金投入大、建设周期长等痛点。此外，企业、合作项目也可以充分利用研究院既有设备，针对自身需求，在关键环节有针对性地添加相关设备，即可实现生产条件，助力企业达成成本最小化与效益最大化。

中科微纳研究院将超净实验室打造成真正服务于产业的公共服务平台，企业、项目可根据自身生产需求直接租赁超净场地。研究院供图

这样一个颇具创新性的研究院有何来头？2019年，中科微纳研究院落地狮山，其由南海区人民政府、佛山中科产业技术研究院共同举办，委托中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所运营管理。

研究院一期占地100亩，投入运营资金12亿元，建设3.5万平方米科研及办公场地，建有洁净实验室2.3万平方米，目前已基本完成建设；二期规划建设6万平方米专业化半导体产业载体，将为半导体产业的集聚发展提供更为广阔的空间。

中科微纳研究院一期已基本完成建设。研究院供图

经过近四年的探索运营，中科微纳研究院逐步形成了“研究中心+微纳加工平台+育成中心”的创新运营模式。在此模式下，研究中心主要对外提供前沿关键及产业共性技术研发、咨询指导等科研支撑；微纳加工平台则配备资深工艺、设备、厂务工程师，依托中试产线提供洁净空间、代工流片、工艺开发、应用示范、产线共建等产业支撑，为项目落地形成产能保障；育成中心则提供引育孵化、引导基金、专业载体等配套服务。

通过这样的创新运营模式，研究院建设集应用技术研究、公共服务、产业育成为一体的半导体应用技术创新及制造高地，围绕半导体产业早期投入大、产品开发周期长的产业痛点问题，建设面向企业、院所、高校开放的8英寸硅基、6-8英寸化合物半导体中试公共服务平台，合计8英寸产能5000片/月。

2019年，中科微纳研究院落地狮山，其由南海区人民政府、佛山中科产业技术研究院共同举办。研究院供图

凭借新的合作模式、优质的载体平台，中科微纳研究院落子狮山的近四年里，已与佛山本地近20家企业达成相关合作，当中不乏本地制造业龙头企业，并针对企业创新需求，提供研发咨询、设计验证、中试流片等服务。

此外，依托科研团队，研究院已在激光照明、激光加工、杀菌消毒、导电薄膜等方向，与当地企业达成了研发合作，共同攻关产业技术难题。

中科微纳研究院充分吸收中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所管理运营经验，在此基础上，结合地方产业特点，打造符合区域半导体产业需求的中试平台。

半导体被誉为“制造业的大脑”。研究院供图

目前，中科微纳研究院公共服务平台已具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。同时，研究院还分批铺设8英寸MENS加工线；8英寸Micro-LED、8英寸HEMT加工线；光电器件加工线；8英寸生物医疗芯片加工线。上述产线可分别满足智能感知芯片制造；显示、光通信、电力电子产业需求；紫外、激光器产业需求以及医疗健康等产业的需求。

未来，依托中科微纳研究院等平台，狮山将有望成为半导体产业集聚的“大本营”。按照计划，中科微纳研究院二期规划建设超6万平方米的半导体专业化产业园区，涵盖超净生产厂区、甲类仓、特气站、专用废水管、高保障用电等半导体生产必要基础设施，帮助企业实现轻资产投入、短周期资评、高效能建线，大大缩短生产筹备期。

“研究院最终目的是希望通过研发+中试的创新模式，推动产业共性技术研发与关键技术突破，帮助本土企业实现创新发展，不断提升南海半导体产业转型升级。”李心舟说。

在提高研发技艺、加速产业集聚的路上，中科微纳研究院还在尝试开拓更多的“新玩法”。

比如，中科微纳研究院能提供人才培养服务，如组织半导体器件加工工艺培训，联合企业、高校利用平台设备开展人才培训实践等，有效破解科教融合人才培养、企业定向人才培训等方面的难题。

而针对半导体产业发展投入大、周期长的难点，中科微纳研究院正着力打造“投早、投小、投科技”的半导体产业基金，并计划吸纳更多社会资本，为半导体产业发展提供强大资金支持。在产业基金的支撑下，狮山将有望加速半导体产业项目的孵化进程，并为南海、佛山集聚更多重点项目。

实际上，半导体产业集聚之势已在狮山加速形成。目前，狮山已集聚国星半导体、佛智芯微电子、联动科技等半导体上下游关联企业近30家。中科微纳研究院也在过去近四年的运作中，陆续吸引多家省外项目团队落户佛山，并孵化了相关产业项目。

广东迈能欣科技有限公司就是其中代表，公司于2021年在南海区狮山镇注册成立，公司围绕汽车电子领域，开展车规级MEMS传感芯片、新型纳米材料、先进汽车电子系统研发及产业化。公司成功研发并掌握了纳米材料和MEMS芯片2大核心技术，解决多项卡脖子问题，拥有多项专利，是国内首家推出热失控气溶胶传感器的公司，并于2022年在头部新能源车厂率先实现量产供货。

2022年，南海发布《佛山市南海区半导体及集成电路产业发展行动方案》（下称《方案》）以及配套制定《佛山市南海区半导体及集成电路产业扶持办法》，提出未来五年将投入200亿元，十年内投入500亿元，打造粤港澳大湾区半导体制造业重要基地和集聚区。

《方案》明确，南海将投入更多资源打造科创平台和产业园区，在“一园两区”空间产业布局上，为半导体产业发展提供支撑。在“一园两区”布局中，狮山将重点打造南海纳米电子产业先行区。中科微纳研究院，正是支撑该先行区建设的重要组成部分。

背靠狮山、南海，中科微纳研究院将加快二期、三期建设，为半导体产业集聚提供更丰沃的土壤，推动更多创新成果落地转化，加速产业升级，助力南海制造高质量发展。

“新玩法”带来发展新空间

或许在很多人印象里，研究院大多以技术研究为主攻方向，与其他单位的合作也主要以产学研的模式进行。在做好技术研究本业的基础上，中科微纳研究院正以加速产业落地为重点突破方向，围绕合作模式、服务内容等方面的创新，让研发更贴近产业需求，为半导体产业的集聚发展带来更多新玩法。

利用技术、团队、载体、设备等优势，中科微纳研究院不断打造多样化的对外服务模式，不仅可以提供超净场地，产线也能根据需求实时调整……这样的合作模式创新，不仅将极大地提速高精尖产业化进程，也让狮山、南海发展半导体产业的土壤日渐丰沃。

接下来，南海区科技局也将持续落实落细“南海科创二十条”，支持中科微纳研究院在科研攻关、成果转化、团队孵化等方面发展，推动平台与南海企业“相向奔赴”，促进更多科研成果转化落地。